無塵室等級 分類 製程對象 潔靜度等級 半導體工廠 結晶精製 1,000~10,000 Wafer製造 10~10,000 擴散 10~100 晶圓表面處理 10~1,000 平板印刷 10~100 Chip製造 10~1,000 組裝、檢查 100~100,000 半成品保管 10,000~100,000 電子產業 大型磁鼓、磁帶 100~1,000 蔽蔭遮罩 100~10,000 Reliable Tube 100~1,000 液晶工廠 1,000~100,000 精密測定儀器 1,000~100,000 精密機械 Miniature Bearing 100~1,000 手錶、測量儀器 1,000~100,000 高信賴度零件、裝置 100~100,000 光學?印刷 LENS(研磨、貼合) 100~100,000 底片、印刷版 100~10,000 LSI 光罩 10~100 超精密印刷 100~10,000 航太科技?其他 迴轉儀 100~1,000 人造衛星零件 1,000~10,000 雷達發射機 10~1,000 包裝材料、容器 100~100,000
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